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无油真空泵选购型号知识

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无油真空泵选购型号知识

发布日期:2020-10-24 08:46 来源:http://www.bkzkjx.com 点击:


当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。


4、真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空泵选型时的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度,必须高于工艺生产要求的真空度,至少要高一个数量级,真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。


例如:真空镀膜要求1×10-5 mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6 mmHg。


通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。


5、极限绝对压强:绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。


真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时,数值前面无负号。


6、真空泵工作时产生的振动。


真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,对于环境不允许时,可以选择无振动的泵或者采取减震措施。


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7、准确地组合真空泵。


由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,可以把多种泵组合成组合泵,互相补充达成抽气目的。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气互相补充才能满足抽气要求。


前级泵在主泵出口处产生的压力要比主泵所排出的最大排气压力低,前级泵应保证能够及时排出主泵所排出的气体,最后,兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间和预抽真空度的要求。


8、所选真空泵的价钱、运行及维护费用。


真空泵选型过程中,多种真空泵能同时满足工艺需求时,要进行成本和运转费用的经济性分析,选用经济性好,运行可靠,维修量小,使用与维修方便的真空泵。


9、正确地选择真空泵的工作点。


每种泵都有一定的工作压强范围,


例如:扩散泵为10-3 ~10-7 mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而 变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6 mmHg。


因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能 让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5 mmHg为好。


10、真空设备对油污染的要求。 若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡 油阱等,也能达到清洁真空要求。


11、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。 选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。·


12、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。 如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。


13、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。


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