简言之真空热处理是工件在10-1~10-2Pa真空化学物质中进行升温到所务必的温度，接着在不一样化学物质中以不一样冷速进行致冷的热处理方法。那么，真空泵系统热处理务必注意哪些难点呢？

1、真空泵解决合金材料时不宜用N2作为致冷气体，由于钛和氮在高温下反映，构成橘黄色的氮化钛。

2、真空泵活动连接一部分全部采用O型硅胶圈密闭性连接，此一部分均通冷却循环水。

3、真空泵工件在真空状况下热处理，应运用真空淬火油，此油具有较低的饱和蒸气压。

4、真空炉的维护保养应在真空或充纯氮状况下，防止平常不用时吸气返潮。

5、我国真空炉的压升率应不超1.33Pa/h，国外一些企业的规范为0.67Pa/h

6、真空升温以放射性物质核心，工件在炉内内理应锲而不舍间距。

7、真空泵升温整个过程中工件及炉内原材料会放气，使真空度降落。

8、真空热处理、真空热处理、真空热处理淬火解决及真空及时性的升温温度一般与基础解决时升温温度一样。

9、真空回火炉理应具有快冷安装。致冷水的压力理应超出0.2Mpa总总流量应可调。

10、致冷气体：钢一般采用百分之二十99.995纯度的N2，耐热合金采用百分之二十99.999的N2或氩气，合金材料采用百分之二十99.995的氩气。

11、真空泵放入工件后，一般先预抽至6.67Pa时就可以升温升温。

真空热处理被现如今热处理界称作效率高、节能环保和零环境污染的清除热处理。真空热处理的零件具有无氧化，无渗氮、除气、脱脂，使用性能好，变形小，综合型工艺性能高，效率性好（性能好，使用期稳定）等一系列优点。因此，真空热处理遭到世界各地广泛的重视和普遍的应用。并把真空热处理全民化水准作为考虑一个国家热处理技术水平的重要标识。真空热处理专业性是近四十年迄今热处理制作工艺发展趋向的实时热点，也是目前智能制造系统专业性的重要制造行业.